日本ULVAC CFB-650Z脂潤(rùn)滑分子泵技術(shù)參數(shù)

發(fā)布時(shí)間： 2015-12-29　　點(diǎn)擊次數(shù)： 1552次

日本ULVAC CFB-650Z脂潤(rùn)滑分子泵一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

CFB-Z系列脂潤(rùn)滑分子泵其葉輪采用國(guó)內(nèi)*的變截面葉齒，軸承采用脂潤(rùn)滑陶磁精密軸承，以更高的可靠性實(shí)現(xiàn)了泵的任意角度安裝和清潔無油的高真空環(huán)境，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

日本ULVAC CFB-650Z脂潤(rùn)滑分子泵二、產(chǎn)品特點(diǎn)

由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
軸承采用脂潤(rùn)滑陶瓷精密軸承，可以實(shí)現(xiàn)泵的任意角度安裝。

日本ULVAC CFB-650Z脂潤(rùn)滑分子泵三、主要性能指標(biāo)

型號(hào)		CFB-650Z
進(jìn)氣口法蘭	—	LF160	CF150
排氣口法蘭	—	KF40
抽氣速率	L/s	650
壓縮比N2/H2	—	1×109/1×104
極限壓強(qiáng)	Pa	3×10-6	2×10-7
電機(jī)轉(zhuǎn)速	rpm	24000
振動(dòng)值	μm	≤0.1
啟動(dòng)時(shí)間	min	＜5
使用軸承	—	脂潤(rùn)滑陶瓷軸承
前極泵	L/s	4-8
冷卻方式	—	水冷
冷卻水溫度	℃	≤25
環(huán)境溫度	℃	<40
冷卻水流量	L/min	1
安裝方向	—	任意角度
重量	kg	～26

四、特性曲線及安裝尺寸

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線

CFB-650Z安裝尺寸

型號(hào)規(guī)格	CFB-650Z
高真空法蘭	LF160	CF150
D1	Ф180	Ф202
D2	Ф236	Ф236
D3	212	212
L1	112	112
H1	308	308
H2	248.5	248.5
H3	92	92
H4	224.5	224.5

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日本ULVAC CFB-650Z脂潤(rùn)滑分子泵技術(shù)參數(shù)